現在不少工廠都要著潔凈室，那潔凈室有哪些防護要求了？
2020.06.19
潔凈室（Cleam Room）不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。潔凈室主要的作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為“潔凈室”。按照國際標準，潔凈室級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
潔凈室內需按如下要求設置：
防靜電地板：點對點電阻<10E9Ω；點對地電阻<10E9Ω2、
防靜電墻板：點對點電阻<10E9Ω；點對地電阻<10E9Ω3、
防靜電窗：點對點電阻<10E9Ω；點對地電阻<10E9Ω4、
可靠的接地系統：點對點電阻<1Ω5、
空氣電離系統：根據制程工藝確定平衡電壓范圍和消電時間，推薦：平衡電壓<±35V。
除此之外，也要定時消毒。
要進行潔凈間的滅菌殺毒處理（車間紫外線照射或臭氧消毒處理）：在潔凈間使用一段時間后，部分區域將存在難以清潔到位的區域（如風管內壁），此時，使用紫外線照射或臭氧消毒30分鐘以上，可以有效防止霉菌的交叉污染（不可在有人情況下殺菌）。當然，在日常情潔時，由于紫外線對霉菌孢子的殺菌效果有限，可適當配合酒精噴霧等方法進行處理。而因為臭氧具有強氧化性，因此一般一年1-2次。
